Nhan đề chính: Springer Handbook of Semiconductor Devices

Nhan đề dịch: Sổ tay Springer về thiết bị bán dẫn

Tác giả: Massimo Rudan, Rossella Brunetti, Susanna Reggiani

Nhà xuất bản: Springer Cham

Năm xuất bản: 2023

Số trang: 1703 tr.

Ngôn ngữ: Tiếng Anh

ISBN: 978-3-030-79827-7

SpringerLink

  Lời giới thiệu: Sổ tay Springer này trình bày chủ đề về thiết bị bán dẫn, bao gồm tất cả các khía cạnh từ nền tảng lý thuyết đến chế tạo, mô hình hóa và ứng dụng. Gần 100 nhà khoa học hàng đầu trong ngành và học viện đã được chọn để viết các chương của cuốn sổ tay dành cho các chuyên gia, nhà khoa học vật liệu, nhà vật lý và kỹ sư điện đang làm việc tại các trường đại học, R&D công nghiệp và các nhà sản xuất.

  Bắt đầu từ phần mô tả các khía cạnh công nghệ liên quan và các bước chế tạo, cuốn sổ tay này tiến tới một phần dành hoàn toàn cho các thiết bị bán dẫn thông thường chính như bóng bán dẫn lưỡng cực, tụ điện và bóng bán dẫn MOS, được sử dụng trong sản xuất mạch tích hợp tiêu chuẩn, và mô hình vật lý tương ứng. Trong các chương tiếp theo, các vấn đề về quy mô của công nghệ thiết bị bán dẫn sẽ được đề cập, tiếp theo là phần mô tả các thiết bị bán dẫn dựa trên khái niệm mới. Phần cuối cùng minh họa các phương pháp mô phỏng số từ quá trình chế tạo đến hoạt động của thiết bị.

  Mỗi chương đều khép kín và đề cập đến các chủ đề liên quan được đề cập trong các chương khác khi cần thiết, để người đọc quan tâm đến một chủ đề cụ thể có thể dễ dàng xác định lộ trình đọc cá nhân thông qua nội dung rộng lớn của cuốn sổ tay.

  Từ khóa: Vật lý; thiết bị bán dẫn; điện tử thể rắn; thiết bị điện tử

Nội dung cuốn sách gồm những phần sau:

- Quy trình sản xuất CMOS

- Công nghệ bộ nhớ bán dẫn

- Công nghệ xử lý BCD

- Kỹ thuật đo các thông số của chất bán dẫn

- Xử lý kết nối: Tích hợp, điện môi, kim loại

- Quy trình hóa chất ướt cho công nghệ BEOL

- Từ FinFET đến Nanosheets và hơn thế nữa

- In thạch bản nâng cao

- Công nghệ tiên tiến cho vật liệu và thiết bị trong tương lai

- Tụ điện MOS, bóng bán dẫn MOS và thiết bị truyền điện tích

- Doping tĩnh điện và các thiết bị

- MOSFET phẳng và ứng dụng của chúng trong thiết kế vi mạch

- Thiết bị điện silicon

- Thiết bị điện cacbua silic

- Thiết bị dọc và ngang dựa trên GaN

- Bóng bán dẫn lưỡng cực và điốt silicon

- Thử thách trí nhớ

- Cảm biến silicon

- Pin mặt trời

- Máy dò tia X

…